SiC襯底磨拋新工藝：突破成本壁壘，開啟高效制造新時(shí)代。
發(fā)表時(shí)間：2023-11-18 14:29:00瀏覽量：6978【小中大】
碳化硅晶圓制造過程中，為了確保順利產(chǎn)出高質(zhì)量、高性能的產(chǎn)品，每一步操作都需要非常精確。其中，碳化硅襯底的研磨拋光尤為重要，因?yàn)樗苯佑绊懙叫酒馁|(zhì)量和性能。為了實(shí)現(xiàn)高效、精密的研磨拋光，選擇適當(dāng)?shù)难心?..
碳化硅晶圓制造過程中，為了確保順利產(chǎn)出高質(zhì)量、高性能的產(chǎn)品，每一步操作都需要非常精確。其中，碳化硅襯底的研磨拋光尤為重要，因?yàn)樗苯佑绊懙叫酒馁|(zhì)量和性能。為了實(shí)現(xiàn)高效、精密的研磨拋光，選擇適當(dāng)?shù)难心ゲ牧鲜顷P(guān)鍵。今天，我們將探討碳化硅襯底研磨拋光工序中的重要材料——金剛石研磨液。
1. 金剛石研磨液的組成
金剛石，以其出色的硬度和耐磨性而著稱，在研磨拋光領(lǐng)域中具有不可或缺的地位。金剛石研磨液主要由金剛石微粉、分散劑、懸浮劑以及潤滑劑等組成。其中，金剛石微粉作為主要的磨料，對碳化硅襯底進(jìn)行物理磨削。分散劑和懸浮劑確保研磨液內(nèi)的金剛石粒子能均勻分散，防止團(tuán)聚。潤滑劑則降低研磨過程中的摩擦，確保碳化硅襯底表面的平滑度和質(zhì)量。
2. 金剛石研磨液的優(yōu)勢
高效率：金剛石微粉的高硬度和尖銳性使得研磨過程更加高效，短時(shí)間內(nèi)可獲得所需的平坦度和光潔度。
高精度：由于金剛石的自銳性和微粉的均勻分散，晶圓在研磨過程中能夠保持高精度和一致性。
廣泛的適應(yīng)性：不同粒度的金剛石研磨液可適用于不同階段的研磨，從粗研磨到超精細(xì)研磨，都可以找到合適的產(chǎn)品。3. 中機(jī)新材旗下的金剛石研磨液產(chǎn)品
團(tuán)聚金剛石研磨液DLE1532
在眾多的金剛石研磨液供應(yīng)商中，深圳中機(jī)新材料有限公司憑借其產(chǎn)品的高質(zhì)量、高性能，為客戶降本增效，脫穎而出。中機(jī)新材不僅提供單晶、聚晶、類多晶金剛石研磨液，還自主研發(fā)了團(tuán)聚金剛石研磨液，能夠滿足不同客戶的需求。其產(chǎn)品分散性好、粒度均勻，為碳化硅襯底研磨拋光提供了堅(jiān)實(shí)的保障。
隨著第三代半導(dǎo)體技術(shù)的不斷進(jìn)步與發(fā)展，對碳化硅襯底的研磨拋光要求也越來越高。而金剛石研磨液，作為這一過程中的關(guān)鍵材料，其重要性不言而喻。中機(jī)新材以其高品質(zhì)的產(chǎn)品，為半導(dǎo)體制造行業(yè)提供了強(qiáng)大的支持，確保了高效、高質(zhì)量的研磨拋光效果。
